フロロパワーFFSWは、パーフロと呼ばれる高機能フッ素ゴム材質の白色+耐熱強化タイプに当たり、主として半導体製造のエッチング装置、CVD、拡散装置に於ける高温やプラズマ(フッ素ラジカルや塩素ラジカル、臭素ラジカルといったハロゲンプラズマ)環境で使用するOリングに重用されています。黒色パーフロの耐熱強化タイプであるフロロパワーFFSと並んで上級グレードに位置する極めて優れた耐熱性(330℃クラス)を有し、原材料のパーフロロエラストマー(FFKM)に由来する非常に優秀な耐薬品性と相俟って、半導体や液晶などの電子産業に限らず幅広い分野で代替の無い突出した性能を発揮しています。また、一般的には物性面では劣ることの多いFFKM材質、しかもノンカーボンの白色材質でありながら、機械的強度も大変良好です。尚、先述の通りフロロパワーFFSWはハロゲンプラズマに適した材質ですが、酸素プラズマにはフロロパワーFFTをはじめとする専用グレードが推奨されます。ご注意ください。
* | 名称(規格名や通称) | : | フロロパワーFFSW、FP-FFSW |
* | 代表的な特性(優) | : | 耐薬品性(全般)、耐熱性(上級)、耐プラズマ性(ハロゲンラジカル) |
(劣) | : | 耐寒性 | |
* | 使用温度範囲の目安 | : | 0〜330℃ |
* | 最高耐圧性能の目安 | : | 8MPa(バックアップリングなし) |
* | 含有物質等の法規制 | : | 環境負荷物質(RoHS指令10物質);閾値以下 REACH規制対象物質(SVHC物質);意図的添加なし TSCA PBT5物質(DecaBDE、2,4,6-TTBP、PIP(3:1)、HCBD、PCTP);意図的添加なし |
Oリングのサイズ選定は、規格の中から行うのが一般的です。以下から必要なサイズが含まれている規格を選択して下さい。尚、早見表は各規格に含まれるサイズの目安を知るのに便利です。縦軸の線径(Oリング断面の太さ)に対し、対応している内径の範囲を横軸で確認することが出来ます。その他、規格の詳細についてはOリング寸法の規格を参照して下さい。